| 发明名称 |
Method for making a semiconductor device including band-engineered superlattice using intermediate annealing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2006344095(A1) |
申请公布日期 |
2008.03.27 |
| 申请号 |
AU20060344095 |
申请日期 |
2006.05.18 |
| 申请人 |
MEARS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
SCOTT A. KREPS;MAREK HYTHA;ROBERT JOHN STEPHENSON |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/205;H01L21/8238;H01L29/10;H01L29/15;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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