| 发明名称 | 一种对准标记和对其成像的光学系统以及成像方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种对准标记，其中，所述的对准标记为多周期光栅结构，包含多组不同周期的光栅。本发明还提供一种用于对所述的对准标记成像的光学系统，对准标记通过该光学系统相干成像，其至少包括两个相干成像系统，第一相干成像系统包括前组透镜、第一空间滤波器和第一后组透镜；第二相干成像系统包括前组透镜、第二空间滤波器和第二后组透镜。本发明还提供一种采用所述的光学系统对对准标记成像的方法，其中，该方法包括以下步骤：提供和传输激光照明光束，并照射至对准标记；采集对准标记的衍射光和反射光，其中的衍射光分别经过光学系统的第一相干成像系统和第二相干成像系统相干成像。本发明能够有效提高对准标记位置探测精度。 | ||
| 申请公布号 | CN101149564A | 申请公布日期 | 2008.03.26 |
| 申请号 | CN200710045579.3 | 申请日期 | 2007.09.04 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 徐荣伟;韦学志;李运锋;周畅;李铁军 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);G03F9/00(2006.01);H01L23/544(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈蘅 |
| 主权项 | 1.一种对准标记，其特征在于：所述的对准标记为多周期光栅结构，包含多组不同周期的光栅。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||