发明名称 狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置
摘要 本发明提供可以简单地加工狭缝喷嘴、且不引起毛细管现象的狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置。本发明涉及按设定宽度在被处理物表面供给处理液的狭缝喷嘴,前述狭缝喷嘴1采用左右半体(2)、(3)合并构成,其中一边的材质为金属材料、另一边的材质为树脂材料,另外具有该狭缝喷嘴的处理液供给装置,在调温的处理液的循环回路(8)的设定部位设置前述狭缝喷嘴。
申请公布号 CN100376330C 申请公布日期 2008.03.26
申请号 CN200410032967.4 申请日期 2004.04.14
申请人 东京応化工业株式会社 发明人 岛井太;河田茂
分类号 B05B1/34(2006.01);B05C11/10(2006.01);B05C5/02(2006.01) 主分类号 B05B1/34(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 温大鹏;杨松龄
主权项 1.一种狭缝喷嘴,按照既定宽度在被处理物表面供给处理液,其特征在于,该狭缝喷嘴采用左右半体合并构成,一边半体的材质为金属材料,另一边半体的材质为树脂材料,以在前述左右半体的对齐面处不引起毛细管现象的方式直接紧贴。
地址 日本川崎市
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