| 主权项 |
1.一种一氧化氮感测装置,其包括: 一第一压电基板; 一具有表面胺官能基的高分子感测层,系形成于该 第一压电基板上;及 一对第一换能器,系分别形成于该高分子感测层的 对侧,该等第一换能器系用于电能与机械能之间的 互换,以于该第一压电基板上产生表面声波; 其中当该高分子感测层吸附空气中的一氧化氮时, 会造成该高分子感测层下方传递的该表面声波频 率变化,藉该表面声波频率的变化量,以得到空气 中一氧化氮的含量。 2.如申请专利范围第1项所述之一氧化氮感测装置, 其中更包含一第一表面声波反射器系设于该第一 压电基板一侧与一该第一换能器之间。 3.如申请专利范围第1项所述之一氧化氮感测装置, 其中更包含一对第一表面声波反射器分别设于该 第一压电基板两侧与该等第一换能器之间。 4.如申请专利范围第1项所述之一氧化氮感测装置, 其中该高分子感测层为不具有苯环的脂肪族高分 子材料。 5.如申请专利范围第1项所述之一氧化氮感测装置, 其中该第一换能器系包含一对指叉电极组。 6.如申请专利范围第1项所述之一氧化氮感测装置, 其中该第一换能器的材质为铝、金或铜。 7.如申请专利范围第5项所述之一氧化氮感测装置, 其中该第一换能器的材质为铝、金或铜。 8.如申请专利范围第2项所述之一氧化氮感测装置, 其中该第一表面声波反射器包含一格栅。 9.如申请专利范围第3项所述之一氧化氮感测装置, 其中该第一表面声波反射器包含一格栅。 10.如申请专利范围第1项所述之一氧化氮感测装置 ,其中更包含一表面声波参考频率感测部,其系包 括: 一第二压电基板;及 一对第二换能器,系分别形成于该第二压电基板的 两侧,该等第二换能器系用于电能与机械能之间的 互换,以于该第二压电基板上产生表面声波。 11.如申请专利范围第10项所述之一氧化氮感测装 置,其中更包含一第二表面声波反射器系设于该第 二压电基板一侧与一该第二换能器之间。 12.如申请专利范围第10项所述之一氧化氮感测装 置,其中更包含一对第二表面声波反射器分别设于 该第二压电基板两侧与该等第二换能器之间。 13.如申请专利范围第11项所述之一氧化氮感测装 置,其中该第二表面声波反射器包含一格栅。 14.如申请专利范围第12项所述之一氧化氮感测装 置,其中该第二表面声波反射器包含一格栅。 15.如申请专利范围第10项所述之一氧化氮感测装 置,其中该第二换能器包含一对指叉电极组。 16.如申请专利范围第10项所述之一氧化氮感测装 置,其中该第二换能器的材质为铝、金或铜。 图式简单说明: 第一图系本发明一氧化氮表面声波感测部及表面 声波参考频率感测部的上视示意图; 第二图系本发明一氧化氮感测装置的上视示意图 。 |
