Verfahren zur Herstellung eines Dünnschicht-Thermogenerators

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Dünnschicht-Thermogenerators, mit den Schritten: Beschichtung einer Trägerfolie mit einem ersten Halbleiter von einem ersten Leitungstyp, Strukturierung des ersten Halbleiters, Beschichtung der Trägerfolie mit einem zweiten Halbleiter von einem zweiten Leitungstyp und Strukturierung des zweiten Halbleiters. Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, dass die Trägerfolie für die Beschichtungs- und Strukturierungsschritte als Folienrolle bereitgestellt wird.