发明名称 Vorrichtung zum thermischen Behandeln von Substraten
摘要
申请公布号 DE10024709(B4) 申请公布日期 2008.03.13
申请号 DE20001024709 申请日期 2000.05.18
申请人 STEAG RTP SYSTEMS GMBH 发明人 KREISER, UWE
分类号 G21K5/00;B01J19/08;H01K1/02;H01K1/14;H01K1/50;H01K7/00;H01L21/00;H01L21/324 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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