半导体霍尔传感器

摘要

本发明的目的是提供一种通过减小不平衡电压来减小不平衡电压所引起的测定误差，进而使静电耐压性能提高的半导体霍尔传感器。在存在于形状的半导体霍尔传感器的图案(1)的外周的内角部分上设置切口部(2a)。存在于图案形状的外周的四个内角部分中，输入一侧端子图案和输出一侧端子图案交叉的角度的相邻的(2)处或(4)处都是锐角。所以对半导体霍尔传感器的图案的缺陷或不平衡变得不敏感，与以往的形状的半导体霍尔传感器图案相比，能减小不平衡电压。

主权项

1.一种半导体霍尔传感器，具有作为输入一侧图案，其长度和宽度分别为L1和W1，作为输出一侧图案，其长度和宽度分别为L2和W2的十字形状图案，其特征在于：不使膜厚、杂质浓度、所述输入一侧图案的长度L1和宽度W1以及所述输出一侧图案的长度L2和宽度W2的值变化，而输入一侧端子之间的电阻值和输出一侧端子之间的电阻值都大于由作为所述输入一侧图案的长度为L1、宽度为W1的四边形和作为所述输出一侧图案的长度为L2、宽度为W2的四边形所构成的十字形状图案的电阻值，在具有所述十字形状图案的半导体霍尔传感器的外周存在的四个内角部分中，在相邻的两处或四处都具有切口部，所述切口部具有正方形、多边形、圆形、椭圆形或组合了多个所述形状中的任意形状，以对所述十字形图案的所述输入一侧图案或所述输出一侧图案轴对称的方式设置同形状的切口部。