发明名称 | 金属雾化器的气体供应和再生 | ||
摘要 | 本发明使用氦气和氦气回收净化设备去除来自封闭工艺设备的杂质,封闭工艺设备如熔融室和雾化塔。高于大气压的氩气/氦气交换可以产生雾化所需的氩气气氛。 | ||
申请公布号 | CN100374181C | 申请公布日期 | 2008.03.12 |
申请号 | CN200380109229.9 | 申请日期 | 2003.11.21 |
申请人 | 普莱克斯技术有限公司 | 发明人 | S·E·杰恩斯;M·克莱斯;J·范登塞普 |
分类号 | B01D53/02(2006.01);B01D61/00(2006.01) | 主分类号 | B01D53/02(2006.01) |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 韦欣华;邹雪梅 |
主权项 | 1.去除封闭工艺设备内气体不需要杂质的工艺,包括以下步骤:(a)去除封闭工艺设备内的任何空气;(b)引入氦气到所述封闭工艺设备;(c)循环所述氦气完全通过所述封闭工艺设备以去除杂质;(d)用工艺气体交换所述氦气;(e)以所述工艺气体开始工艺过程;其中所述工艺设备包括一个或多个熔融室和一个雾化塔,所述工艺产生雾化金属和污染的氩气。 | ||
地址 | 美国康涅狄格州 |