丙烯酸系聚合物和放射线敏感性树脂组合物

摘要

本发明的目的在于提供对抗蚀剂溶剂的溶解性好，烘烤温度依赖性小，并且降低显像后的图案的线边缘粗糙度的抗蚀剂。丙烯酸系聚合物，其特征在于含有式(1)、式(2)、及式(3)和/或式(4)。其中，R、R′、R″与R″′表示氢原子、甲基或三氟甲基，R¹表示氢原子、C_1-4的直链状或支链状的烷基、烷氧基、或C_1-4的直链状或支链状的氟代烷基，X表示C_7-20的由碳原子与氢原子构成的多环型脂环式烃基，R²与R³相互独立地表示C_1-4的直链状或支链状的烷基，R⁴表示C_4-20的脂环式烃基，R⁵表示C_1-4的直链状或支链状的烷基，R⁶与R⁷分别表示氢原子、或C_1-4的直链状或支链状的烷基。

主权项

1.丙烯酸系聚合物，其含有式(1)所示的重复单元(i)、式(2)所示的重复单元(ii)、及含有选自式(3)所示重复单元和式(4)所示重复单元的至少一个重复单元(iii)的含有酸解离性基团的单元，相对于全部重复单元，所述重复单元(i)是20～70摩尔％，所述重复单元(ii)是1～20摩尔％，含有所述重复单元(iii)的含有酸解离性基团的单元是20～60摩尔％，重均分子量为1000～300000，式(1)～式(4)中，R、R′、R″与R分别表示氢原子、甲基或三氟甲基，式(1)中，R¹表示氢原子、C_1-4的直链状或支链状的烷基、C_1-4的直链状或支链状的烷氧基、或C_1-4的直链状或支链状的氟代烷基，式(2)中，X表示C_2-20的由碳原子与氢原子构成的多环型脂环式烃基，式(3)中，R²与R³相互独立地表示C_1-4的直链状或支链状的烷基，R⁴表示C_4-20的脂环式烃基，式(4)中，R⁵表示C_1-4的直链状或支链状的烷基，R⁶与R⁷分别表示氢原子、或C_1-4的直链状或支链状的烷基，n表示3～7的整数。