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发明名称 Procedure and apparatus for testing the function of a multitude of active microstructure elements
摘要
申请公布号 EP1020732(B1) 申请公布日期 2008.03.12
申请号 EP20000100915 申请日期 2000.01.18
申请人 ETEC EBT GMBH 发明人 BRUNNER, MATTHIAS, DR.;SCHMID, RALF, DR.
分类号 G01R31/302;G01R31/307;G01N23/225;G01R1/06;G01R31/26;G01R31/311;G02F1/13;H01L21/66 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
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