微热流陀螺仪

摘要

微热流陀螺仪，采用双向流体分流通道结构，由驱动膜振动变形控制腔体体积周期的交替变化，产生两股速度大小和温度完全相同，而速度方向相反的流体，流体分别流经各自的缓冲腔和主微流通道，分流至对称布置的带有热敏器件的分流通道，热敏器件与流体之间的对流传热包含有角速度信息，通过检测两对对称布置热敏器件的温差获得角速度。本发明的优点是能有效减小离心力耦合对检测精度的负面影响，使检测精度和量程可以同时达到优化，适用于匀角速度和非匀角速度的场合，结构简单，灵敏度和分辨率高。

主权项

1.一种微热流陀螺仪，主要包括：外壳、基体、热敏器件、检测驱动电路，其特征在于所述在基体(1)上设有腔体(2)、第一锥形收缩管(3a)、第二锥形收缩管(3b)、第三锥形收缩管(3c)、第四锥形收缩管(3d)、第一锥形扩散管(4a)、第二锥形扩散管(4b)、第一缓冲腔(5a)、第二缓冲腔(5b)，第一主微流通道(6a)、第二主微流通道(6b)、第一分流通道(7a)、第二分流通道(7b)、第三分流通道(7c)、第四分流通道(7d)、回流管道(10)，腔体(2)位于基体(1)的中心，第一锥形收缩管(3a)、第二锥形收缩管(3b)通过腔体(2)、第一锥形扩散管(4a)、第一缓冲腔(5a)、第一主微流通道(6a)分别与第一分流通道(7a)、第二分流通道(7b)相连通，再接到回流管道(10)，第一热敏器件(8a)、第二热敏器件(8b)分别对称置于第一分流通道(7a)、第二分流通道(7b)中，第三锥形收缩管(3c)、第四锥形收缩管(3d)通过腔体(2)、第二锥形扩散管(4b)、第二缓冲腔(5b)、第二主微流通道(6b)分别与第三分流通道(7c)、第四分流通道(7d)相连通，再接到回流管道(10)，第三热敏器件(8c)、第四热敏器件(8d)分别对称置于第三分流通道(7c)、第四分流通道(7d)中，由第一驱动膜(12a)与第一基底膜(13a)相贴构成的第一振动膜和由第二驱动膜(12b)与第二基底膜(13b)相贴构成的第二振动膜位于腔体(2)和外壳(11)之间，第一检测驱动电路(9a)用于检测第一热敏器件(8a)与第二热敏器件(8b)的温度差以及驱动第一驱动膜(12a)，第二检测驱动电路(9b)用于检测第三热敏器件(8c)与第四热敏器件(8d)的温度差以及驱动第二驱动膜(12b)。