| 发明名称 | 一种耐磨损抗腐蚀且高透明度的镀膜的制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种耐磨损抗腐蚀且透明度高的镀膜的制作方法，包括以下步骤：(a)在反应腔体中引入含有呈气态的硅氧烷类、氧化剂和输送气体的反应源；和(b)对该反应腔体内的阴极板(或称作挂具)应用双极脉冲电压，以使该反应源裂解成等离子体气体并在设置在所述阴极板(或称作挂具)的基材上形成耐磨损抗腐蚀且透明度高的镀膜；其中，所述双极脉冲电压的工作比为从40％至95％。 | ||
| 申请公布号 | CN101139705A | 申请公布日期 | 2008.03.12 |
| 申请号 | CN200610151713.3 | 申请日期 | 2006.09.08 |
| 申请人 | 深圳成霖洁具股份有限公司 | 发明人 | 何主亮;罗文麟 |
| 分类号 | C23C16/513(2006.01);C23C16/30(2006.01);C23C16/52(2006.01) | 主分类号 | C23C16/513(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 于辉 |
| 主权项 | 1.一种耐磨损抗腐蚀且透明度高的镀膜的制作方法，包括以下步骤：(a)在反应腔体中引入含有呈气态的硅氧烷类、氧化剂和输送气体的反应源；和(b)对所述反应腔体的阴极板应用双极脉冲电压，以使所述反应源裂解成等离子体气体，并在设置在所述阴极板的基材上形成耐磨损抗腐蚀且透明度高的镀膜；其中，所述双极脉冲电压的工作比是在40％至95％之间。 | ||
| 地址 | 518110广东省深圳市宝安区观澜镇福民乡悦兴围村 | ||