液体材料的涂布方法及其树脂层形成法

摘要

一种在平板上形成树脂层的方法，包括：(1)在平板(102)的第1主面(112)上涂布作为液体材料的光硬化性树脂组成物(110)；(2)然后通过将光硬化性树脂组成物曝光而硬化、形成树脂层，光硬化性树脂组成物的涂布是通过将平板的侧面与导向构件(103、104)大致接触、并使导向构件的上面(114、120)位于相对平板的第1主面大致同一的水平面，在将平板配置于载物台上的状态下进行旋转涂布，而在平板的第1主面涂布光硬化性树脂组成物，形成向导向构件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜，将该涂膜曝光。由此，通过旋转涂布可使形成的涂膜厚度均匀化，使最终形成的树脂层的厚度均匀化。

主权项

1.一种树脂层的形成方法，它是在平板上形成树脂层的方法，包括：(1)在具有相对的第1主面和第2主面所组成的平板的第1主面上涂布光硬化性树脂组成物；(2)然后，通过将光硬化性树脂组成物曝光而使其硬化，形成树脂层，光硬化性树脂组成物的涂布，是通过使用液体材料的涂布方法来实施，即通过将平板的侧面与导向构件接触、并使导向构件的上面位于相对平板的第1主面同一的水平面，在将平板配置于载物台上的状态下，对光硬化性树脂组成物进行旋转涂布，形成向导向构件的上面和平板的第1主面延伸的光硬化性树脂组成物的涂膜，光硬化性树脂组成物的硬化采用以下两种方法中的一种来实施，即：(a)、将平板从载物台上取走，使该平板曝光而使第1主面上的涂膜部分硬化，或者(b)、在导向构件与平板的侧面接触的状态下，使向导向构件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜硬化，在液体材料的涂布方法中，导向构件与平板的侧面成线接触。