半导体制造机用气阱

摘要

【物品用途】本创作的物品是一种半导体制造机用气阱，主要是设置在半导体制造机之排气管线的气阱，用以将一条排气管的端部，分支为两条而连接在，设于上部的两个连接部。【创作特点】如各图所示，本创作的气阱，基本上是由两个并列配置的长矩形箱体所形成，且在其上部及下部的一侧，分设有并列的短圆管状的连接部，在顶部及侧部设有多个大小不同的ㄇ形框；综上所述，本创作确为一前所未见之创新设计。