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发明名称 HEATING UNIT
摘要
申请公布号 KR100811390(B1) 申请公布日期 2008.03.10
申请号 KR20040071735 申请日期 2004.09.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H05B3/74;H01L21/00;H01L21/02;H05B3/00;H05B3/10 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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