| 摘要 |
Le microgyromètre est réalisé dans un substrat plan et comporte des moyens de détection du déplacement de deux masses oscillantes (2a), selon une direction de mesure (Oy), perpendiculaire à une direction d'excitation (Ox). Les moyens de détection comportent un cadre d'excitation (6a), associé à chaque masse oscillante (2a), et un élément de détection mobile (8a), entouré par un cadre d'excitation (6a) correspondant et comportant une pluralité d'électrodes mobiles (10a), et des premier et second jeux d'électrodes fixes (11, 12), interconnectées et solidaires du substrat sur lequel elles sont formées. Chaque électrode mobile (10a) est disposée entre des électrodes fixes (11, 12) associées des premier et second jeux, pour former deux condensateurs différentiels variables. Les électrodes fixes (11, 12) de chaque jeu sont interconnectées par l'intermédiaire de barres d'interconnexion (13, 14) en matériau électriquement conducteur, s'étendant au-dessus des électrodes fixes (11, 12), dans un plan sensiblement parallèle au substrat.
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