发明名称 Vertikal integrierter Feldeffekttransistor, Feldeffekttransistor-Anordnung und Verfahren zum Herstellen eines vertikal integrierten Feldeffekttransistors
摘要
申请公布号 DE10250868(B4) 申请公布日期 2008.03.06
申请号 DE20021050868 申请日期 2002.10.31
申请人 QIMONDA AG 发明人 HOENLEIN, WOLFGANG;KREUPL, FRANZ;GRAHAM, ANDREW;SPECHT, MICHAEL;HOFMANN, FRANZ;KRETZ, JOHANNES;LANDGRAF, ERHARD;LUYKEN, JOHANNES R.;ROESNER, WOLFGANG;SCHULZ, THOMAS
分类号 B82B1/00;H01L21/335;H01L21/336;H01L27/28;H01L29/775;H01L29/78;H01L29/786;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/30 主分类号 B82B1/00
代理机构 代理人
主权项
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