发明名称 Herstellungsverfahren für Gatterelektroden mit doppelter Austrittsarbeit unter Verwendung von dotiertem Polysilizium und einer Metall-Silizium-Germanium Verbindung
摘要
申请公布号 DE60318671(D1) 申请公布日期 2008.03.06
申请号 DE20036018671 申请日期 2003.11.21
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC. 发明人 ROTONDARO, ANTONIO L. P.;VISOKAY, MARK R.;COLOMBO, LUIGI
分类号 H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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