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发明名称 Implantationsprozess in der Halbleiterfabrikation
摘要
申请公布号 DE112006001025(T5) 申请公布日期 2008.03.06
申请号 DE200611001025T 申请日期 2006.05.05
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HIERLEMANN, MATTHIAS
分类号 H01L21/265;H01L21/336 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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