发明名称 AUTOMATISCHE JUSTIERUNG EINES ENERGIEFILTRIERENDEN TRANSMISSIONSELEKTRONENMIKROSKOPS
摘要
申请公布号 DE69737862(T2) 申请公布日期 2008.03.06
申请号 DE19976037862T 申请日期 1997.07.10
申请人 GATAN INC. 发明人 KUNDMANN, MICHAEL KARL;GUBBENS, ALEXANDER JOZEF;FRIEDMAN, STUART LAWRENCE;KRIVANEK, ONDREJ L.
分类号 H01J37/26;G01Q20/04;G01Q30/02;H01J37/05;H01J37/244;H01J37/252 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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