| 摘要 |
<p>In eine Vakuumpumpvorrichtung, in die ein Prozessgas (38), das reaktive Partikel (40) enthalten kann, eingesaugt wird, wird kontrolliert über einen Sauerstoffeinlass (26, 26a, 26b) Sauerstoff in Form von Luft oder reinem Sauerstoff zugeführt. Dadurch erfolgt in dem Kompressionsraum (24) eine kontrollierte Oxidation, so dass die Stäube im Falle einer plötzlichen Belüftung sich nicht entzünden können.</p> |
