基板处理装置及其控制装置

摘要

通过允许批次向替代处理部调换，即使在处理部发生异常的情况下也可以防止运转率下降。对于按照对发生异常的优先处理部指定替代处理部的工艺处方进行处理的第2批次，以调换到替代处理部进行第2批次的处理的方式，控制部(25)变更时序表，同时控制部(25)按照该变更后的时序表继续执行第2批次的处理。因此，由于即使优先处理部发生异常，也不必使从第1批次到第3批次的所有批次停止处理，因而可以防止基板处理装置的运转率下降。

主权项

1.一种基板处理装置，其具有：多个处理部，它们用于对基板进行处理；以及控制部，其处理多个批次时，在根据包括多个处理工序的工艺处方决定时序表后执行处理，该时序表规定用于由各个处理部依次处理各批次的各批次处理顺序，其特征在于，前述处理部具有：优先处理部，其为了处理一个处理工序而优先使用；以及与前述优先处理部不同的替代处理部，其可以实施与前述处理部相同的处理，在处理工序中指定的优先处理部发生异常的情况下，对于按照指定了与发生异常的优先处理部对应的替代处理部的工艺处方进行处理的批次，前述控制部变更时序表，以由前述替代处理部进行处理，同时前述控制部按照该变更后的时序表继续执行该批次的处理。