半导体积体电路装置及其制造方法

摘要

在使用 SOG 膜作为层间绝缘膜的光检测器中，因受光部的上部构造层中产生的膜厚差，会引起开口部的底面不平坦，产生受光部面内的入射光量的不均匀。其解决方法是，在被配线构造所包围的四边形受光部内部形成开口部时，除去角部进行蚀刻。例如，在将开口部形成为八角形的情况下，开口部的4条边与受光部的4条边相接，开口部的其他4条边设置在比受光部的4个角部向受光部的中心部后退的位置上。