电浆处理装置及电浆处理方法

摘要

微波电浆处理装置100，系于以梁 26 所支撑之多数片电介质配件 31 上，使多数个槽孔 37中所通过之微波透射，并藉由上述透射的微波使气体达到电浆化，而对基板G 进行电浆处理。用以支撑电介质配件31之梁26，系以于其端部周边的电浆电子密度Ne成为截止的电浆电子密度Nc以上之方式，突出设置于基板侧。由于此梁26的突出，可抑制因透射互相邻接的电介质配件 31 之微波的电场能量所产生之表面波而形成的干涉，并抑制于互相邻接的电介质配件 31 下方之电浆扩散时，于电浆中传播而到达邻近的电浆之电子或离子所形成的干涉。