具有涂布基板用之载板的涂布设备

摘要

本发明涉及一种具有新颖基板载板(1)之涂布设备。基板载板(1)本质上是由一从玻璃-陶瓷制成之平板(2)所组成。玻璃-陶瓷较不昂贵，且具有比传统上至今使用之CFC材料更短的运送时间。因此，涂布设备可以更经济地被操作。