| 发明名称 | 描画装置以及对位方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种即使不对对位摄像机使用高性能的驱动机构，在光照射部和对位摄像机的位置关系发生了变化时，也能够在基板上的正确的位置进行描画的图案描画装置以及对位方法。图案描画装置(1)检测出各对位摄像机(41～44)相对于从光学头(32)照射的脉冲光的相对位置的偏移量，并根据该偏移量来修正基板(9)的对位量以及基板(9)的描画开始位置。由此，即使从光学头(32)照射的脉冲光与各对位摄像机(41～44)的位置关系发生了变化，也可以在修正该变化量的同时进行描画处理。因此，图案描画装置(1)能够在基板(9)上的正确位置进行描画。 | ||
| 申请公布号 | CN101131545A | 申请公布日期 | 2008.02.27 |
| 申请号 | CN200710142398.2 | 申请日期 | 2007.08.22 |
| 申请人 | 大日本网目版制造株式会社 | 发明人 | 谷口慎也;和田康之;林秀树;小八木康幸 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐恕 |
| 主权项 | 1.一种描画装置，在形成于基板上的感光材料上描画规定图案，其特征在于，具有：工作台，其保持基板；光照射部，其将规定图案的光照射到保持在所述工作台上的基板的上表面；工作台驱动部，其使所述工作台和所述光照射部相对移动；对位装置，其具有对位摄像机，该对位摄像机用于检测保持在所述工作台上的基板的位置以及姿势，而且，该对位装置相对所述光照射部，对所述工作台上的基板进行对位；偏移量检测装置，其检测所述对位摄像机相对所述光照射部的相对位置的偏移量；第一修正装置，其根据所述偏移量检测装置所检测出的偏移量，修正基板上的描画位置。 | ||
| 地址 | 日本京都府京都市 | ||