一种半导体制冷的二氧化碳超临界干燥装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体制冷的二氧化碳超临界干燥装置，包括：超临界干燥室，用于牺牲层的释放，由高压反应室和温度控制室组成；高压反应室用于盛放硅片支架，提供二氧化碳置换和气化干燥的反应室，与二氧化碳气瓶相连，且高压反应室的外壁上安装有半导体制冷环；温度控制室通过蒸发器盘管与高压反应室相连，实现高压反应室的制冷和加热；分离减压室通过管道与高压反应室相连，用于减压后将醇类和二氧化碳分离；超临界干燥室与分离减压室通过支座台固定连接。利用本实用新型，解决了微细加工中干燥时粘连的问题，降低了液体二氧化碳的消耗量，达到了节约能源的目的，与二氧化碳制冷或氟里昂制冷相比，结构简单，无噪音，无污染，制冷速度快。

主权项

1.一种半导体制冷的二氧化碳超临界干燥装置，其特征在于，该装置包括：超临界干燥室，用于牺牲层的释放，由高压反应室(4)和温度控制室(5)组成；高压反应室(4)用于盛放硅片支架，提供二氧化碳置换和气化干燥的反应室，与二氧化碳气瓶相连，且高压反应室(4)的外壁上安装有半导体制冷环(201)；温度控制室(5)通过蒸发器盘管与高压反应室(4)相连，实现高压反应室(4)的制冷和加热；分离减压室(6)，通过管道与高压反应室(4)相连，用于减压后将醇类和二氧化碳分离；所述超临界干燥室与分离减压室(6)通过支座台(2)固定连接。