| 发明名称 | 一种三角形结构的微悬臂梁传感器及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种三角形结构的微悬臂梁传感器，该传感器包括：用于支撑悬臂梁的衬底框架；至少一个固定于衬底框架上的悬臂梁结构；固定在构成所述悬臂梁结构的两个悬臂梁交叉成锐角端的反光板。本发明同时公开了一种三角形结构微悬臂梁传感器的制作方法。利用本发明，提高了测量的精度，在使用光学读出的系统中，使测量结果更加精确，并提高了成品率，易于实现大规模生产；在生物化学量的测量中，特别是在液体环境下的测量，可以得到广泛的应用。 | ||
| 申请公布号 | CN101131354A | 申请公布日期 | 2008.02.27 |
| 申请号 | CN200610112552.7 | 申请日期 | 2006.08.23 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 黄钦文;陈大鹏;欧毅;叶甜春;张春川;李凯 |
| 分类号 | G01N21/41(2006.01);B81B7/02(2006.01);B81C1/00(2006.01) | 主分类号 | G01N21/41(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 1.一种三角形结构的微悬臂梁传感器，其特征在于，该传感器包括：用于支撑悬臂梁的衬底框架；至少一个固定于衬底框架上的悬臂梁结构；固定在构成所述悬臂梁结构的两个悬臂梁交叉成锐角端的反光板。 | ||
| 地址 | 100029北京市朝阳区北土城西路3号 | ||