发明名称 MICHELSON INTERFEROMETER
摘要 <p>Um bei einem Michelson-Interferometer die Abhängigkeit des Interferenzsignals von Winkelstellungen oder Verkippungen optischer Komponenten zu minimieren und dabei einen hohen Modulationsgrad zu erreichen, weist das Interferometer einen Strahlteiler (3) und einen rotierenden Retroreflektor (9) auf, dessen Rotationsachse (10) gegenüber seinem Tripelpunkt seitlich versetzt ist, wobei der Strahlteiler (3) einen von einer Strahlungsquelle (1) kommenden Lichtstrahl (2) in zwei Teilstrahlen (4, 5) aufteilt, die spiegelsymmetrisch zu einer zur Rotationsachse (10) parallelen Geraden (10') unter jeweils gleichem Winkel (a) in den rotierenden Retroreflektor (9) geführt werden, wobei der rotierende Retroreflektor (9) die in ihn geführten Teilstrahlen (4, 5) entweder unmittelbar oder nach Reflexion an zwei ortsfesten Retroreflektoren in Richtung zu dem Strahlteiler (3) zurück reflektiert, der die Teilstrahlen (4', 5') zum Empfang in einem Detektor (13) wieder vereinigt, und wobei im Verlauf zumindest eines der beiden Teilstrahlen (4') zwischen dem rotierenden Retroreflektor (9) und dem Strahlteiler (3) mindestens ein Umlenkspiegel (6, 7) angeordnet ist und im Verlauf des anderen Teilstrahls (5') eine um eine ungerade Zahl geringere Anzahl von Umlenkspiegeln (8) angeordnet ist, wobei die geringere Anzahl größer oder gleich Null ist.</p>
申请公布号 WO2008019937(A1) 申请公布日期 2008.02.21
申请号 WO2007EP57794 申请日期 2007.07.27
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;BAUER, CHRISTIAN;PLEBAN, KAI-UWE 发明人 BAUER, CHRISTIAN;PLEBAN, KAI-UWE
分类号 G01J3/453;G01J9/02 主分类号 G01J3/453
代理机构 代理人
主权项
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