全封闭交叉式真空成膜机

摘要

全封闭交叉式真空成膜机涉及有机分子、金属及无机化合物在真空条件下成膜的设备，主要用于制备有机及有机/无机复合半导体薄膜电子及光电子器件的设备，该成膜机包括第一蒸镀室(1)、第二蒸镀室(2)、预处理兼过渡室(3)、手套箱(4)、第一掩模室(5)、第二掩模室(6)；第一蒸镀室(1)附带第一掩模室(5)，第二蒸镀室(2)附带第二掩模室(6)，第一蒸镀室(1)与手套箱(4)经由预处理过度室(3)成垂直交叉连接；第二蒸镀室(2)、预处理过度室(3)及手套箱(4)成直线连接。第一蒸镀室(1)、第二蒸镀室(2)采用圆筒型真空室体，与外部由密封法兰连接。

主权项

1.一种全封闭交叉式真空成膜机，其特征在于该成膜机包括第一蒸镀室(1)、第二蒸镀室(2)、预处理兼过渡室(3)、手套箱(4)、第一掩模室(5)、第二掩模室(6)；第一蒸镀室(1)附带第一掩模室(5)，第二蒸镀室(2)附带第二掩模室(6)，第一蒸镀室(1)与手套箱(4)经由预处理过度室(3)成垂直交叉连接；第二蒸镀室(2)、预处理过度室(3)及手套箱(4)成直线连接。