形成铸锭的方法

摘要

本发明包括一种形成金属体的方法。制备具有原始厚度的金属材料锭，对该金属锭进行热锻压。对热锻压后的产品进行淬火，使金属材料的平均晶粒尺寸固定在小于250微米。淬火后的材料用于形成三维物理气相沉积靶。本发明还包括一种形成铸锭的方法。在一特定方面，该铸锭是高纯度铜材料。本发明还包括物理气相沉积靶和磁控管等离子溅射反应器组件。

主权项

1.一种形成铸锭的方法，包括：提供具有内部空腔的模具；用熔化金属材料的第一次充填部分对所述内部空腔进行部分充填，在所述内部空腔留出余下的未充填部分；对所述内部空腔中所述熔化材料的第一次充填部分进行冷却，使所述熔化材料的第一次充填部分部分固化，在至少一段冷却时间内对所述内部空腔内的所述第一次充填部分进行振动；当所述熔化材料的第一次充填部分只是部分固化时，用所述熔化材料的第二次充填部分至少部分充填所述空腔的余下未充填部分；和对所述空腔中所述熔化材料的第一和第二次充填部分进行冷却，形成包括第一和第二次充填部分的金属锭，在所述第二充填部分的至少一段冷却时间内，对所述内部空腔中的所述第二次充填部分进行振动。