| 发明名称 |
Messeinrichtung mit fotoelektrischer Abtastung von Teilungsmerkmalen |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE1147763(B) |
申请公布日期 |
1963.04.25 |
| 申请号 |
DE1961H043604 |
申请日期 |
1961.09.09 |
| 申请人 |
M. HENSOLDT & SOEHNE;OPTISCHE WERKE A. G. |
发明人 |
RAENTSCH DR.-ING. KURT;WEGRAUCH ADOLF |
| 分类号 |
G01D5/347;G01D5/36;G01D5/38;G01N21/88 |
主分类号 |
G01D5/347 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
