清洗光罩的方法与治具、以及移除光罩护膜的方法

摘要

本发明主要提供一种可有效保护光罩图形区之清洗光罩的方法及治具，其系针对光罩之非图形区以及图形区进行分段隔离洗净，并可由光罩内部之图形区往光罩外围之非图形区进行洗净，以防止对光罩之图形区造成损害，并避免污染物停留于光罩的图形区之表面，而维持光罩之图形区表面的高度洁净。