降低钟罩清洁频率之方法

摘要

一种降低钟罩清洁频率之方法，包含在一电浆清洗铜还原制程之中，使用一仿真晶圆进行反应，并提高仿真晶圆反应时之反应压力、反应时间，以及反应温度，以减少一电浆清洗反应室中之一微粒群组与一钟罩间之附着力，使微粒群组与钟罩脱离，减少微粒群组黏着于钟罩上之情形，进而降低铜还原制程中钟罩之清洁频率，以提升电浆清洗反应室之处理效率。