利用数位光学感测器以监视与控制配送之系统与方法

摘要

兹提供一种用于检测半导体制程液体的装置。该装置包括一光源及一数位光感应器，其中光源适于形成光束，而数位光感应器可用以检测该光束。喷嘴适于维持半导体制程液体并传送光束。该喷嘴及光源系经配置以在光束通过喷嘴中之气体的同时以第一方向折射光束。该喷嘴及光源系经配置以在光束通过液体的同时以第二方向折射光束。