| 发明名称 |
使用经由利用平面离子通量探测配置所导出之参数的控制电浆处理 |
| 摘要 |
本发明揭示使用平面离子通量（PIF）探测配置来来测和／或导出比如电浆电位和离子通量之参数的绝对值和／或相对变化之方法与设备。使用该检测和／或导出的数值来控制该电浆处理制程。 |
| 申请公布号 |
TW200809958 |
申请公布日期 |
2008.02.16 |
| 申请号 |
TW096112077 |
申请日期 |
2007.04.04 |
| 申请人 |
泛林股份有限公司 |
发明人 |
道格拉斯 凯尔 |
| 分类号 |
H01L21/3065(2006.01);H01L21/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/3065(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
