具有圆角半径接合器之装置

摘要

一种晶圆固持装置，包含复数个杆件，该等杆件系藉由具有凸缘部之接合器接合于杆件相对端的端板，其中，该等凸缘部系具有圆角半径。接合于该装置之构成部件的接合器系提供稳定的晶圆固持装置，以用于手动操作以及用于半导体晶圆制程室之严苛制程条件。