曝光设备

摘要

一种将原件之图案曝光于基板上之曝光设备包含：一聚光器光学系统，其组构成可将来自一光源之光线分成复数光束，以在不同位置将该复数光束聚集在该原件上，并使照明该原件的数光束之每一光束的中心部分，比在关于该原件之傅立叶转换平面的周边较暗；及一投射光学系统，其组构成可将让原件之图案投射于该基板上。