显现透明基板中缺陷特征之装置及方法

摘要

本发明揭示出感测透明基板(12)中缺陷之装置(1O)及方法，其藉由同时地合并使用亮场及暗埸光源以照射基板。装置能够感测杂质及表面缺陷，同时基板在移动，在制造设定中该装置简化基板之特征。