| 摘要 |
<P>L'invention concerne un procédé pour produire une décharge basse tension entre une ou plusieurs cathodes thermoioniques (3) prévues dans une chambre à cathode (1), et une anode (38, 36) prévue dans une chambre de traitement sous vide (11) reliée à la chambre (1) par l'intermédiaire d'un dispositif de diaphragme (9). Selon ce procédé, une formation d'étincelles au niveau de parties (17) limitant l'intérieur de la chambre (11), autour du dispositif (9), est au moins sensiblement empêchée à l'aide d'un écran (20) qui fonctionne avec un courant électrique flottant et qui est maintenu par rapport aux parties (17) à une distance formant chambre noire. L'invention concerne aussi un procédé pour amorcer ladite décharge, une installation de traitement sous vide et une chambre à cathode, et des utilisations de celles-ci et desdits procédés.</P>
|
