金属蚀刻缺陷侦测装置及其侦测方法

摘要

本发明系一种金属蚀刻缺陷侦测装置及其侦测方法，其系整合光谱装置、记录装置及处理装置，兼具侦测、记录、运算能力之装置；本发明之金属蚀刻缺陷侦测方法，系撷取金属蚀刻缺陷结构之光激发光谱资讯，并将光谱资讯予以储存，最后运算光谱资讯输出可供分析之图表，当中可适当引入磁场周期参数，可整合应用于强化光激发光谱之分析技术，达到快速测定金属蚀刻缺陷，并可与磁场周期同步。