发明名称 Verfahren zur Erzeugung einer elektrischen Funktionsschicht auf einer Oberfläche eines Substrats
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung einer elektrischen Funktionsschicht (19) auf einer Oberfläche eines Substrats (10), auf dem zumindest ein elektronisches Bauelement (15), insbesondere ein Halbleiterchip, aufgebracht ist. Die elektrische Funktionsschicht (19) wird dadurch gebildet, dass in Pulverform vorliegende Partikel aus einem elektrisch leitfähigen Material selektiv auf die Oberfläche des Substrats (10) geblasen werden, so dass diese beim Aufprall auf das Substrat (10) eine dichte und fest haftende Schicht bilden.
申请公布号 DE102006037532(A1) 申请公布日期 2008.02.14
申请号 DE20061037532 申请日期 2006.08.10
申请人 SIEMENS AG 发明人 HOLST, JENS-CHRISTIAN;JENSEN, JENS DAHL;WEIDNER, KARL;WEINKE, ROBERT
分类号 C23C24/04;H01L21/28;H05K3/14 主分类号 C23C24/04
代理机构 代理人
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