发明名称 ECR plasma source
摘要
申请公布号 AU2007283313(A1) 申请公布日期 2008.02.14
申请号 AU20070283313 申请日期 2007.08.08
申请人 ROTH & RAU AG 发明人 JOACHIM MAI;VALERI FELL;BERND RAU
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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