用于通过激光束使半导体结晶化的装置

摘要

一种使半导体结晶化的装置，包括至少一个激光源；用于把由激光源所发射的激光束分为多个子光束的光束分离装置；用于把子光束聚焦在基片上的无定形半导体上的至少一个聚焦光学系统；用于改变由该聚焦光学系统所形成的子光束的至少两个光点位置之间的距离的运动机构；用于把激光束转向到该聚焦光学系统的第一平面镜；以及被提供在该聚焦光学系统中以接收由第一平面镜所反射的子光束的第二平面镜，其中第一平面镜和第二平面镜之间的子光束与该运动机构的运动方向相平行。

主权项

1.一种使半导体结晶化的装置，包括：至少一个激光源；用于把由该激光源所发射的激光束分为多个子光束的光束分离装置；用于把该子光束聚焦在基片上的无定形半导体膜中的单一表面上的至少一个聚焦光学系统；用于改变由该聚焦光学系统所形成的该子光束的至少两个光点位置之间的距离的运动机构；用于把激光束转向到该聚焦光学系统的第一平面镜；以及被设置在该聚焦光学系统中以接收由第一平面镜所反射的子光束的第二平面镜；其中，该第一平面镜和该第二平面镜之间的子光束与该运动机构的运动方向相平行。