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发明名称 Method of producing semiconductor substrate
摘要
申请公布号 EP1863082(A3) 申请公布日期 2008.02.13
申请号 EP20070008808 申请日期 2007.04.30
申请人 SUMCO CORPORATION 发明人 MURAKAMI, SATOSHI;MORIMOTO, NOBUYUKI;NISHIHATA, HIDEKI;ENDO, AKIHITO
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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