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发明名称
ELECTROSTATIC ABSORPTION APPARATUS, PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号
KR100802670(B1)
申请公布日期
2008.02.12
申请号
KR20040086768
申请日期
2004.10.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/3065;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01J11/02
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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