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发明名称 Surface treatment method of Quartz Belljar for semiconductor preparation
摘要
申请公布号 KR100801671(B1) 申请公布日期 2008.02.11
申请号 KR20060049402 申请日期 2006.06.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/304 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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