发明名称 | 抛光垫及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种抛光垫及其制造方法,于抛光垫本体中具有一视窗镶嵌于其中,并且视窗与抛光垫本体之间具有化学键结。其制造方法包括将一未固化之胶质放置于抛光垫模具中,将抛光垫材料注入模具中,并于抛光垫材料成型时,使该未固化之胶质固化形成视窗,并使得抛光垫材料与视窗间形成化学键结,以得到具有防水视窗之抛光垫。 | ||
申请公布号 | TW200806426 | 申请公布日期 | 2008.02.01 |
申请号 | TW095127687 | 申请日期 | 2006.07.28 |
申请人 | 力晶半导体股份有限公司 | 发明人 | 邱丞伟;庄千莹 |
分类号 | B24B37/04(2006.01);B24D18/00(2006.01) | 主分类号 | B24B37/04(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号 |