发明名称 抛光垫及其制造方法
摘要 本发明提供一种抛光垫及其制造方法,于抛光垫本体中具有一视窗镶嵌于其中,并且视窗与抛光垫本体之间具有化学键结。其制造方法包括将一未固化之胶质放置于抛光垫模具中,将抛光垫材料注入模具中,并于抛光垫材料成型时,使该未固化之胶质固化形成视窗,并使得抛光垫材料与视窗间形成化学键结,以得到具有防水视窗之抛光垫。
申请公布号 TW200806426 申请公布日期 2008.02.01
申请号 TW095127687 申请日期 2006.07.28
申请人 力晶半导体股份有限公司 发明人 邱丞伟;庄千莹
分类号 B24B37/04(2006.01);B24D18/00(2006.01) 主分类号 B24B37/04(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号