发明名称 Chemisch verstärkte positiv arbeitende Resistzusammensetzung und Strukturierungsverfahren
摘要
申请公布号 DE60128283(T2) 申请公布日期 2008.01.31
申请号 DE2001628283T 申请日期 2001.03.21
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. 发明人 TAKEDA, TAKANOBU;WATANABE, JUN;TAKEMURA, KATSUYA;KOIZUMI, KENJI
分类号 G03F7/004;G03F7/027;G03F7/039;G03F7/40 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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