基板粘结装置

摘要

提供一种能够在真空中高精度地进行基板粘结的基板粘结装置。其构成包括：搬入粘结前的2张基板的第1腔(C1)，进行基板粘结的第2腔(C2)，以及输出粘结后的基板的第3腔(C3)，将第1腔内部和第3腔内部从大气压可变控制为中真空状态，将第2腔(C2)从中真空可变控制为高真空，在第2腔内利用可上下移动地构成的静电吸附机构(25)接收上基板(30)，并可保持在上载台(9)上。

主权项

1.一种基板粘结装置，包括：为了分别搬入上下基板而设置了具有吸引吸附机构的搬入用机器臂的第1腔，以及使第1腔内部从大气压变为中真空状态的真空泵，第2腔，其设置有在上载台上可上下移动地设置的可动式静电吸附机构、和固定在上述上载台的静电吸附机构，利用上述可动式静电吸附机构在中真空状态下从上述机器臂接收上基板，并将上述静电吸附机构提升至载台表面以在载台表面保持上基板，在下载台上具有从上述机器臂接收下基板并载置于载台表面的升降销，在下载台表面具有保持下基板的基板保持机构，在水平方向上移动任一方的载台，对上下2张基板进行对位，使上下任一方的载台上下动作以减小基板间隔、进行粘结，以及第3腔，其具有在中真空状态下从第2腔输出粘结后的基板的机器臂，并在大气状态下将上述粘结后的基板搬出到腔外，在上述第1腔、第2腔以及第3腔内具有测量各个腔内压力的测量设备，并设置有控制各个腔的真空度的控制设备。